Réglage du PID de haute capacité du four à semi-conducteurs de la série SEO Étanchéité à l'air

Le four à semi-conducteurs rempli d'azote a une grande universalité, une grande stabilité et des performances élevées.adopte une structure de chambre spéciale et une technologie d'étanchéité, avec une excellente étanchéité à l'air et une uniformité de température pour répondre aux exigences de performances élevées des produits semi-conducteurs.Des emballages IC (substrate de cuivre), gel d'argent, gel de silice, résine époxy), substrat de verre et autres produits.
 
Technologie de base:
01 Système d'air chaud à recirculation horizontale de haute capacité pour obtenir une homogénéité de température de haute performance
02 La chambre est entièrement scellée, adopte une plaque en acier inoxydable, avec une bonne étanchéité à l'air, économisant de l'azote
03 Moteur à long axe résistant aux températures élevées, haute puissance, et lame de turbine de grande taille, qui peut fonctionner de manière stable dans un environnement à haute température pendant une longue période
04 La vitesse de chauffage est contrôlable, fonctionnement à une touche pour le réglage du profil de processus, avec système de refroidissement pour le refroidissement, ce qui peut améliorer efficacement l'efficacité de la production
05 régulateur de température de haute précision, réglage PID, la précision de commande peut atteindre 0,5°C, commande fiable, utilisation sûre
06 Traitement propre efficace, essai de vieillissement en salle blanche à mille degrés, pour répondre aux exigences des ateliers et des produits sans poussière pour semi-conducteurs
07 Contrôle de la faible teneur en oxygène, surveillance en temps réel, système d'analyse à double canal la teneur en oxygène peut être contrôlée à moins de 50 ppm
 
Caractéristiques du produit:
La structure des chambres de four à semi-conducteurs
Les boîtes supérieure et inférieure sont équipées d'un système de circulation d'air chaud, la vitesse et le volume de l'air peuvent être réglés et différents paramètres de processus peuvent être utilisés indépendamment.La chambre du four est en acier inoxydable de haute qualitéLe four est équipé de supports en couches pour améliorer l'utilisation de l'espace.

Système d'azote pour four à semi-conducteurs
Remplissage d'azote à l'intérieur de la chambre, équipé d'un débitmètre multiple, avec fonction de réglage indépendant, pour assurer une utilisation raisonnable de l'azote, une distribution équilibrée.d'une épaisseur n'excédant pas 10 mm, la surveillance en temps réel de la valeur de la teneur en oxygène dans les chambres supérieure et inférieure, peut être contrôlée séparément, la teneur en oxygène d'une seule chambre peut être contrôlée à 500 PPM (option:dans les limites de 100 ppm).
 

Système de refroidissement du four à semi-conducteurs
Le système de refroidissement à l'eau est adopté: refroidissement à l'eau par soufflage du radiateur à nageoires, lorsque la température du four se refroidit, le souffleur échange rapidement de la chaleur à travers le radiateur à nageoires,cela raccourcit considérablement le temps de refroidissement. Système de refroidissement unique, éviter l'expansion instantanée de la vapeur de refroidissement à haute température, ce qui protège efficacement la qualité du produit.

Système de protection de la sécurité du four à semi-conducteurs
Avec une protection contre la surtempérature (pour éviter que la température du studio ne soit trop élevée et protéger le produit), lorsque la situation de surtempérature se produit, il coupe immédiatement le courant,en même temps, il y a une alarme pour rappeler au personnel, une meilleure protection des produits; contrôle et protection de la teneur en oxygène excessive; protection contre l'alarme à basse pression d'azote;les boîtes supérieure et inférieure sont équipées de serrures de sécurité électroniques, et l'équipement est équipé d'un interrupteur d'arrêt d'urgence.

Test de clarté du four à semi-conducteurs
Après l'essai, la concentration de particules de 0,5 μm est ≤ 35200, ce qui répond aux exigences de production d'un atelier propre et exempt de poussière de haute pureté de classe mille.

Épreuve du profil de température du four à semi-conducteurs
Contrôleur de température de haute précision, régulation PID, système d'air chaud à recirculation horizontale de haute capacité, qui peut atteindre une homogénéité de température de haute performance.

 
Paramètres du produit:

 
Communiqués:
1.Exigences relatives aux sources de gaz: pression de travail de l'azote (pression pendant l'utilisation) > 0,5-0,8 MPa, pureté de l'azote 99,999%.
2.Les besoins en énergie:
1Trois fils à cinq phases: tension 380V, fréquence 50/60HZ;
2Diamètre de fil supérieur à 25 mm2, commutateur de protection contre les fuites 100A, commutateur de protection contre les fuites capacité de fuite 150-200mA.
3.Exigence de pression au sol: 1000 kg/m2.
4.Exigences en matière de ventilation extérieure: conduit d'air de 2 à 38 mm de diamètre extérieur, volume de ventilation de 2*5 M3/min;
5.Exigences environnementales: la plage de température ambiante doit être comprise entre 5 et 40°C et la plage d'humidité relative entre 20 et 95%.